用作萃取剂、磷酸酯的中间体。用于制备磷酸二乙酯、O,O-二乙基-S-苄基硫代磷酸酯（稻瘟净）。用来代替汞剂防治水稻稻瘟病，对防治水稻小粒菌核病、纹枯病、枯穗病也有一定的效果。 是杀菌剂三乙膦酸铝、稻瘟净，杀虫剂硫环磷，除草剂草甘膦的中间体，合成中间体O，O二乙基磷酰氯，进而合成杀虫剂硫环磷。